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| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额(万元) | 预计采购时间(填写到月) | 备注 |
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| 1 | 全自动覆晶与直接固晶焊接系统 | 全自动倒装固晶(Flip Chip Bond)及直接固晶二合一系统,兼容12寸和8寸晶圆倒装和正装固晶,配备相应配件; 2、XY焊位精度 ±0.4mil(±10μm)@3σ 3、芯片偏转 5mm<芯片尺寸<10mm ±0.15°@3σ 1mm<芯片尺寸<5mm ±0.3°@3σ 0.25mm<芯片尺寸<1mm ±1°@3σ 4、物料处理能力 4.1)芯片尺寸 10X10-400X400 mil(0.25X0.25-10X10mm); 4.2)晶圆尺寸 兼容12inch,8inch和6inch 晶圆; 4.3)基板尺寸 长100-300mm,宽15-100mm,厚0.1-0.8mm; 5、双点胶头系统 5.1)具有二合一粘片胶画胶系统,具有针管胶量分配功能(syringe dispensing capability); 5.2)具有标准的粘片胶光学系统的实时对准功能; 5.3)具有标准和定制化画胶功能; 5.4)点胶时间、延迟时间、点胶压力和真空参数可编程控制; 5.5)每个框架上载体的点胶x-y-z位置可单独编程控制; 5.6)具有针管胶量低位报警功能; 5.7)XY行程:50.8mm×90mm; 5.8)点胶位置精度:XY 0.5μm, Z 3.81μm;等 | 206.0000 | 2022年10月 |
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