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为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将zycgr210713032023年3至12月政府采购意向公开如下：
| 12英寸高温退火设备 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210713032023年3至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21071303 |
| 采购项目名称： | 12英寸高温退火设备 |
| 预算金额： | 900.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A020699其他电气设备 |
| 采购需求概况 ： | 12英寸高温退火设备，是完成异质、异构光电子集成工艺探索与芯片加工制造的重要设备。12英寸高温退火设备由采用可承受高温的炉管、精确控制温度的加热装置等构成。该退火设备主要为制备超低波导损耗SiN波导的核心设备。该高温退火设备是结合LPCVD热生长氮化硅设备使用。在LPCVD热生长SiN薄膜的时候，将会在氮化硅薄膜材料中包含有N-H、Si-H化学键。其中，某些化学键将会在通讯应用波段产生吸收峰，从而引起波导的传输损耗过大。为了避免由于化学键吸收峰带来的额外波导损耗，通过长时间高温退火的方式消除化学键，从而实现具有低损耗的氮化硅波导。 |
| 预计采购时间： | 2023-03 |
| 备注： | |
