工程通网
gctong.com
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将上海交通大学2023年5月政府采购意向公开如下：
| 有机物化学气相沉积设备 | |
| 项目所在采购意向： | 上海交通大学2023年5月政府采购意向 |
| 采购单位： | 上海交通大学 |
| 采购项目名称： | 有机物化学气相沉积设备 |
| 预算金额： | 220.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 可在高深宽比结构上沉积疏水有机物薄膜。同时具有普通的原子层沉积能力。
具有5个蒸气传输管道, 包含:
a. 4个标准钢瓶蒸气传输管道
b. 1个气泡式钢瓶蒸气传输管道
1.2 5个钢瓶卡匣模块, 具有温度传感器, 加热器及过热自动断电保护功能, 包含:
a. 4个标准钢瓶卡匣模块
b. 1 个气泡式钢瓶卡匣模块
1.3 5 个钢瓶, 搭配手动阀门, 包含:
a. 4个标准钢瓶及化学前驱体
b. 1 个气泡式钢瓶卡及化学前驱体
1.4 厂务端电源, 压缩空气进口及废气排放接口
1.5 内建无线射频等离子体生成器
1.6 等离子体生成器氧气入口
1.7 微软WINDOWS电脑，预先安装执行软件
1.8 电脑显示屏幕，鼠标及键盘
1.9 干式真空泵
1.10 包含冷水机一台
1.11 工作状态腔内真空度：≤ 2Pa (~0.015Torr)，到达以上真空度需求时间 < 10分钟 |
| 预计采购时间： | 2023-05 |
| 备注： | |
