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为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将中国科学院化学研究所2023年5至12月政府采购意向公开如下：
| 等离子体刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院化学研究所2023年5至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院化学研究所 |
| 采购项目名称： | 等离子体刻蚀机 |
| 预算金额： | 261.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100699其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | ICP等离子体刻蚀工具，带真空装载锁，可处理衬底尺寸：200毫米；温控：温度稳定且连续可调，基材温度从-20摄氏度到300摄氏度 |
| 预计采购时间： | 2023-06 |
| 备注： | |
