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为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将大连理工大学2023年9月政府采购意向公开如下：
| 真空气相薄膜沉积系统采购 | |
| 项目所在采购意向： | 大连理工大学2023年9月政府采购意向 |
| 采购单位： | 大连理工大学 |
| 采购项目名称： | 真空气相薄膜沉积系统采购 |
| 预算金额： | 318.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02052402真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 真空气相薄膜沉积系统，适合精确控制新型半导体材料如钙钛矿等的多步真空沉积以及后续反应成膜、以及薄膜表面处理和改性等领域。
1.各腔室真空度：高温腔≤1 E-04 Pa、低温腔≤1 E-04 Pa、雾化腔≤5 E-01 Pa
2.压力可调范围5E-4Pa --1atm、系统漏率5×10-9 Pa.m3/s
3.薄膜有效沉积面积182mm*182mm、薄膜不均匀性≤±5％、六蒸发电源、六探头。
4.反应气发生方式超声雾化，雾化腔反应气由雾化气和氮气组成，流量可调，溶剂可定量，气路保温。
5.仓壁加热温度可调RT~100℃
采购标数量一台，供货期为合同签订后 40 个日历日，完成包括供货、安装、调试、验收合格。 |
| 预计采购时间： | 2023-09 |
| 备注： | |
