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为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将中国科学院深海科学与工程研究所2023年11至12月政府采购意向公开如下：
| 激光直写无掩膜光刻机采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院深海科学与工程研究所2023年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院深海科学与工程研究所 |
| 采购项目名称： | 激光直写无掩膜光刻机采购项目 |
| 预算金额： | 190.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100503工艺试验机 |
| 采购需求概况 ： | （1）极限最小特征尺寸=<0.6μm；
（2）普通工艺条件的特征尺寸不低于1μm；
（3）线宽均匀性[3σ，nm]>=200nm；
（4）最大基板尺寸>=4英寸；
（5）最大曝光速度不小于5mm2/min；
（6）支持多种数据格式输入；
（7）支持多种曝光模式；
（8）套刻对准精度<=1000nm |
| 预计采购时间： | 2023-11 |
| 备注： | |
