C0908其他专业技术服务

光电信息大楼建设有不同等级要求的净化实验室（包括光电微纳工艺与表征平台、生物医学光学成像平台、动物实验研究中心及共享平台等）、专业实验室化学材料试验区和C8生医生化实验室等，这些实验室专业性强，危险性很高；系统的运行、维护与管理需要相关专业人员进行。整体外包委托服务主要用途是这些动力系统的日常运行、零星的常规维护保养等。受委托方须保证所有动力系统能够正常运行，达到设计要求的实验条件，提供科研实验所需的各种工艺需求条件，保证科研实验正常进行。包括四部分，一是净化实验室（包含微纳工艺与表征平台、生医成像平台、共享平台三个平台）；二是动物实验中心；三是C8生医生化实验室；四是化学材料试验区，主要是四部分的动力系统运行整体外包委托服务。服务期三年。 主要考核控制指标：1.净化实验室 部门 温度℃ 湿度% 压差Pa 换气次数 备注 微纳平台 21±1℃ ≤50±5% 15-25Pa 15-25 电子束曝光设备间21±0.5℃ ≤45±5% 共享平台 21±1℃ ≤50±5% 15-25Pa 15-25 成像平台 22±1℃ ≤40% 25Pa 25 动物房 18-27 30-70 5到-30Pa 15-20 2.配电：提供满足动力与工艺设备要求的380V、220V的交流用电； 3. 供水（微纳平台和共享平台）：能提供产水量为2.5吨/小时，电阻率为18.0MΩ.cm以上的超纯水。能提供压力为0.65MPa以下，水温为21±1℃并可进行调节的洁净工艺冷却循环水，水过滤精度10μ； 4. 供气：能提供露点温度-40℃的干燥压缩空气CDA。能提供纯度为99.999%的普通氮气GN2。能提供纯度为99.9999999%的高纯氮气PN2。能满足工艺实验所需的真空要求； 5. 设备的完好率与故障率：机组设备要达到95%以上的完好率，所有设备均能处于良好的运行状态标准。