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为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将中国科学院微电子研究所2023年12月政府采购意向公开如下：
| 序号 | 采购单位 | 采购项目 名称 |
采购品目 | 采购需求概况 | 预算金额 (万元) |
预计 采购日期 |
备注 |
| 1 | 中国科学院微电子研究所 | 电子束直写光刻系统租赁 | C01031300-电子、通信与自动控制技术研究服务 | 详见项目详情 | 2200.000000 | 2023年12月 | 详见项目详情 |
| 2 | 中国科学院微电子研究所 | 晶圆级等离子体增强化学气相沉积设备 | A02330300-电子工业生产设备 | 详见项目详情 | 3000.000000 | 2023年12月 | 详见项目详情 |
| 3 | 中国科学院微电子研究所 | 减压硅锗外延设备 | A02330300-电子工业生产设备 | 详见项目详情 | 2000.000000 | 2023年12月 | 详见项目详情 |
| 4 | 中国科学院微电子研究所 | DUV光刻机 | A02330301-电子工业生产设备 | 详见项目详情 | 7500.000000 | 2023年12月 | 详见项目详情 |
