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为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将中国科学院上海有机化学研究所2024年1至3月政府采购意向公开如下：
| 曝光系统 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院上海有机化学研究所2024年1至3月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院上海有机化学研究所 |
| 采购项目名称： | 曝光系统 |
| 预算金额： | 390.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02110205集成电路参数测量仪 |
| 采购需求概况 ： | 光刻胶是集成电路中的关键材料，随着海外禁令越来越严苛，高端光刻胶的国产化势在必行。而研发高端光刻胶需要光刻加工系统，主要用于制备和加工光刻胶等相关电子化学品。曝光系统则是光刻加工系统中的核心之一，因此拟采购用于研发ArF光刻胶的曝光系统1台， |
| 预计采购时间： | 2024-01 |
| 备注： | |
