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为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将国家纳米科学中心2024年1至12月政府采购意向公开如下：
| 全自动真空镀膜设备 | |
| 项目所在采购意向： | 国家纳米科学中心2024年1至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 国家纳米科学中心 |
| 采购项目名称： | 全自动真空镀膜设备 |
| 预算金额： | 1280.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100699其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 国家纳米科学中心承担多项极限纳米加工方面相关的国家科研项目。高质量纳米薄膜制备是纳米加工的核心技术之一，而前沿研究对薄膜均一性/致密性调控及其与极限尺寸/质量的纳米结构关联制备工艺匹配方面提出了更高要求。因此拟购置全自动真空镀膜设备，用于制备高均一性/致密性的金属及介质薄膜。该设备操作系统需支持全自动控制，工件台结构兼容8英寸及以下晶圆和厘米级碎片装卸，具有低的背底极限真空，具有除气-预清洁原位去除有机残留物/自然氧化层功能。 |
| 预计采购时间： | 2024-02 |
| 备注： | |
